上海東風(fēng)泵閥廠是一家專業(yè)生產(chǎn)電動調(diào)節(jié)閥、氣動調(diào)節(jié)閥、自力式調(diào)節(jié)閥、溫度控制調(diào)節(jié)閥、流量控制調(diào)節(jié)閥等系列產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家！
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文章來源：電動調(diào)節(jié)閥廠家 發(fā)布時間：2020-03-26 14:21
氣動調(diào)節(jié)閥隔振設(shè)計及性能分析
壓印光刻機是一種精密儀器,外界環(huán)境激勵對壓印光刻機的影響很大。氣動調(diào)節(jié)閥是一種氣動調(diào)節(jié)閥,用氣動調(diào)節(jié)閥隔離外界環(huán)境對壓印光刻機的干擾,能保護壓印光刻機免受低頻激勵力的激勵,文中闡述壓印光刻機低頻氣動調(diào)節(jié)閥單自由度隔振系統(tǒng)的隔振原理,確定氣動調(diào)節(jié)閥的剛度及隔振系統(tǒng)的固有頻率,隔振系統(tǒng)的固有頻率及隔振效率的理論結(jié)果與實際隔振系統(tǒng)的試驗結(jié)果相吻合,表明壓印光刻機的低頻隔振設(shè)計是合理可行的。
