上海東風(fēng)泵閥廠是一家專業(yè)生產(chǎn)電動調(diào)節(jié)閥、氣動調(diào)節(jié)閥、自力式調(diào)節(jié)閥、溫度控制調(diào)節(jié)閥、流量控制調(diào)節(jié)閥等系列產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家！
24小時服務(wù)熱線：
130-5233-4444
公司名稱：上海東風(fēng)泵閥廠
企業(yè)地址：上海市寶山區(qū)顧陳路459號
企業(yè)電話：021-60547555
企業(yè)傳真：021-60547555
移動電話：185-2135-0330
聯(lián) 系 人： 胡經(jīng)理
企業(yè)網(wǎng)址：http://www.fzzwcm.com/
企業(yè)郵箱：792894571@qq.com
文章來源：電動調(diào)節(jié)閥廠家 發(fā)布時間：2020-02-12 12:57
電動調(diào)節(jié)閥隔振設(shè)計及性能分析
壓印光刻機是一種精密儀器,外界環(huán)境激勵對壓印光刻機的影響很大。電動調(diào)節(jié)閥是一種減振器,用電動調(diào)節(jié)閥隔離外界環(huán)境對壓印光刻機的干擾,能保護壓印光刻機免受低頻激勵力的激勵,文中闡述壓印光刻機低頻電動調(diào)節(jié)閥單自由度隔振系統(tǒng)的隔振原理,確定電動調(diào)節(jié)閥的剛度及隔振系統(tǒng)的固有頻率,隔振系統(tǒng)的固有頻率及隔振效率的理論結(jié)果與實際隔振系統(tǒng)的試驗結(jié)果相吻合,表明壓印光刻機的低頻隔振設(shè)計是合理可行的。
